SOI絕緣體上矽/GOI/SOS

進口4-8英寸 ，Simox 、bonding 、smart cut 、BESOI等SOI晶圓片 ；

公司可為客戶提供法國Soitec 、日本信越半導體（SHE） 、美國SunEdison 、英國ICMOS 、芬蘭Okmetic等不同廠家的 100mm, 125mm, 150mm以及200mmSOI晶圓片 。產品係列包括Smart cut 、bonding ，SIMOX 晶圓等 ，並可提供用戶需求的各種頂層矽厚度 。公司還向用戶提供頂層矽小於50nm的超薄SOI晶圓係列和用於RF係統集成用的高阻SOI晶圓片 。

頂層矽的厚度可根據應用的不同而變化 。公司可提供SOI晶圓片的頂層矽最薄可達10納米 ，最厚可至幾十微米或更多 。更厚的頂層矽對光通訊及MEMS器件尤其重要 。

SOI/GOI (Ge on insulator )/SOS ( Silicon-on-Sapphire)

產品名稱 ：進口Al2O3+Si薄膜 （SOS）

Si晶向 ：
Si摻雜類型 ：	本征 ；不摻雜
Si厚度 ：	0.6 um +/- 0.05 um
Si電阻率 ：	> 100 ohm.cm
Micro-particle density (for particles > 2 um) ：	< 2/cm^2
Al2O3基片 ：	R plane with single flat
Al2O3邊取 ：	One flat 32.5mm +/-2.5mm, at 45+/- 1 deg CCW fromon
Al2O3尺寸 ：	dia100 x 0.46 mm
TTV:	< 15 um
Bow:	< 20 um
Warp:	< 20 um
Flatness （TIR)	< 12 um
拋光情況 ：	單拋(正麵外延拋光 ，背麵光學級拋光 ，背麵激光有激光標記）
備注 ：	可按照客戶要求在C plane Al2O3上鍍Si